樣品預(yù)處理系統(tǒng)的操作原理：

　　由特殊高分子材料制成的過濾膜A和過濾膜B，被安放在同一個不銹鋼容器中，并被直接浸入到采樣水中。過濾膜A和過濾膜B由各自的樣品吸入傳輸管，與控制器中的蠕動泵A和蠕動泵B相連。

 

　　兩個蠕動泵輪流交替工作；在某一蠕動泵工作期間，樣品經(jīng)過相應(yīng)濾膜的過濾，被抽提到控制器中，進(jìn)而被傳輸?shù)胶罄m(xù)的水質(zhì)在線分析儀中。

 

　　在系統(tǒng)的整個工作過程中，控制器內(nèi)部的空氣壓縮機連續(xù)不斷的工作，產(chǎn)生的壓縮空氣經(jīng)過兩根空氣傳輸管，被傳送到每個濾膜底部的排氣孔處；在其中一個蠕動泵停止工作期間，吸附在相應(yīng)濾膜表面上的懸浮顆粒，從濾膜表面上被清除掉。從而保證可以連續(xù)不斷的工作。

 

　　樣品預(yù)處理系統(tǒng)的使用流程：

　　啟動真空泵使腔體內(nèi)達(dá)到設(shè)定真空值，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空后，開始沖入氮氣，然后再進(jìn)行真空操作，再次充入氮氣，經(jīng)過反復(fù)真空充氮，可提高箱體內(nèi)潔凈度，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分，然后再次開始抽真空，沖入HMDS氣體，在達(dá)到設(shè)定時間后停止充入，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)保持時間達(dá)到設(shè)定值后，再次開始抽真空，沖入氮氣，完成整個作業(yè)過程。